药液供给设备
药液供给设备的材料大多使用耐化学性优良的氟树脂。要求使用在满足安全性、耐久性的基础上不会对高纯度药液造成污染的清洁材料。
配管、管子、接头、阀门、泵
要求特性
・耐应力开裂性
・耐化学性
・清洁性（离子析出对药液的污染小）
大金的解决方案
氟树脂NEOFLON PFA AP系列产品，不仅具有耐化学品特性，还兼具优异的耐应力开裂性以及不会污染高纯度药液的清洁性，有助于延长管路的使用寿命与提高可靠性。NEOFLON PCTFE M系列产品机械强度优良，属于清洁材料，适用于接触药液的零部件。
> 【技术报告】关于PFA管子表面粗糙度的新提案(应用于半导体芯片，精细化的超平滑PFA管子）
由于半导体集成电路精细化程度的发展，人们对于清洁化的关注度日益高涨，如降低影响成品率的particle等。考虑到particle滞留在PFA管子内表面凹凸部位的可能性，依赖球晶尺寸的亚微米级的表面粗糙度的评价已不再充分，与最先进的精细化工艺相对应，本报告介绍了纳米级别评价表面光滑性的新方法和必要性。
药液贮槽、过滤器壳体、化学品输送容器
要求特性
・耐化学性
・低药液渗透
・清洁性（离子析出对药液的污染小）
大金的解决方案
氟树脂NEW POLYFLON PTFE、POLYFLON PTFE、NEOFLON PFA材料用于片材内衬，另外，NEW POLYFLON PFA和NEW POLYFLON ETFE作为粉体内衬用材料，用于半导体制造装置与高纯度化学品输送容器。通过加入内衬，提高了设备的可靠性。
高阻隔性管
要求特性
・耐化学性
・低药液渗透
・气体阻隔性
・清洁性（离子析出对药液的污染小）
大金的解决方案
氟树脂NEOFLON CPT LP系列具有低药液透过性和优良的气体阻隔性。应用于管子时，可减少药液与气体透过，降低对周边设备的影响。并且，还能抑制管子的老化，有助于延长装置的使用寿命。
沪公网安备 31010602002083号
