半导体用材料
   
  NEUROFINE
 

具有从原料（PTFE）开始的连贯性生产体系的大金公司将为您提供高质量的产品
【NEUROFINE的特点】

不含不纯物质
●不含有机气体以及硼类无机不纯物质。
●不含金属杂质。

压力损耗低
●压力损耗为玻璃ＵＬＰＡ的1/2以下（80Pa以下）。
●具有压力损耗超低的功能，可应用于薄型过滤器。

高捕集效率
●0.1μm～0.2μm
的捕集率可达　99.999995%以上。

强度
●与无纺织布压合加工而成，强度高，
不需表面保护层。

耐药性
●具有优异的耐酸（包括氟酸等）、
耐碱、耐有机溶剂、耐紫外线性能。

[ NEUROFINE和普通玻璃ＵＬＰＡ的过滤材料的比较 ]

 		NEUROFINE 普通玻璃ＵＬＰＡ
过滤材料的电子显微镜照片

ＰＴＦＥ过滤材料的平均孔径小，纤维径非常细小而均匀

→低压力损耗、高捕集效率
（×3,000）

（×3,000）
过滤材料滤材弯曲面的微观结构

ＰＴＦＥ过滤材料纤维不会发生劣化而产生微粒。
（×250）

（×250）
氟酸环境下的状态

ＰＴＦＥ过滤材料具有耐药性，因此纤维不会发生劣化。
（×3,000）


使用２年后（×3,000）

（×3,000）


（×3,000）

[ ＵＬＰＡ过滤器的性能比较 ] （化学特性）

 		NEUROFINE
玻璃ＵＬＰＡ低硼
玻璃ＵＬＰＡ
有机气体不纯物 <100ng/m320000ng/m320000ng/m3●通风开始10天后的通气空气分析
硼不纯物不含硼5.1%0.76%●过滤材料含量
金属不纯物不含金属
20-30%20-30%●过滤材料含量

[ ＵＬＰＡ过滤器的性能比较 ] （物理特性 ）

 		NEUROFINE
玻璃ＵＬＰＡ低硼
玻璃ＵＬＰＡ
捕集效率 7N-56N 6N 同尺寸、同风速( 0.5m/sec )
圧力损耗65Pa
(Typical) 		147Pa147Pa同尺寸、同捕集效率( 6N )
（●运转资金降低）
（●过滤器薄型化→FFU微型化）
耐酸性Hight Resistance
DamagedDamagedNEUROFINE可在药品环境下使用。
强度 使用性Strong
WeakWeakNEUROFINE的过滤材料强度高，使用简便。
耐水性Excellent
BadBadNEUROFINE采用PTFE过滤材料，具有防水性能。
 
 
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